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Entwurf eines miniaturisierten RF MEMS-Phasenschiebers mit MEMS-Schaltern
Das primäre Ziel dieses Artikels konzentriert sich auf die Entwicklung von MEMS-Hochleistungsschaltern und die Konstruktion eines miniaturisierten 5-Bit-Phasenschiebers. Eines der einzigartigen Merkmale des vorgeschlagenen Schalters ist eine dreieckige Form mit verbesserten Eigenschaften wie niedriger Betätigungsspannung, hoher Isolation, niedriger Einfügedämpfung, niedrigem Stressfaktor und guter Rückflussdämpfung. Der MEMS-Schalter ist in einer Serienkonfiguration mit koplanarer Wellenleiter (CPW) Implementierung entworfen. Das Design des neuartigen ...

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